半導(dǎo)體設(shè)備出現(xiàn)故障后，先做好總體分析，然后仔細(xì)檢查故障問(wèn)題。首先，檢查半導(dǎo)體設(shè)備周圍的冷凍機(jī)、真空壓縮機(jī)、變壓器等是否運(yùn)行正常，如果這些設(shè)備都正常，再排查和檢查半導(dǎo)體設(shè)備主體，檢修人員貿(mào)然拆解半導(dǎo)體設(shè)備會(huì)損壞元器件，重復(fù)的返工會(huì)浪費(fèi)大量物力、人力和財(cái)力。其次，全面了解半導(dǎo)體設(shè)備情況，確定半導(dǎo)體設(shè)備故障范圍，有針對(duì)性地采用檢修方法，半導(dǎo)體設(shè)備包括附加部分、傳送部分、動(dòng)力部分、控制部分等，控制部分是半導(dǎo)體設(shè)備中最精密的部分，應(yīng)重點(diǎn)檢查這個(gè)部分，逐一排查電路板模塊，反復(fù)進(jìn)行對(duì)比分析，仔細(xì)檢查半導(dǎo)體設(shè)備故障位置。最后，仔細(xì)清理半導(dǎo)體設(shè)備灰塵，檢查各個(gè)板件的焊接和線路連接[2]，很多半導(dǎo)體設(shè)備在長(zhǎng)時(shí)間使用過(guò)程中接口和插頭容易堆積大量灰塵導(dǎo)致漏電事故，線路板發(fā)生氧化形成虛焊，對(duì)于這些問(wèn)題，檢修人員應(yīng)積極進(jìn)行檢修維護(hù)。